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VPS-MF05R 旋轉(zhuǎn)型真空等離子處理儀是一款針對實驗室需要專門開發(fā)的小型臺式等離子清洗機,處理室為圓筒形石英玻璃,處理器為電容耦合外電極型,內(nèi)部無電極。
VPS-RF05是一款小型實驗科研型真空等離子清洗機,其原理是在真空狀態(tài)下(約10~100pa),給氣體施加電場,氣體在電場提供的能量下會由氣態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)榈入x子體狀態(tài)(也稱物質(zhì)的“第四態(tài)”),其中含有大量的電子、離子、光子和各類自由基等活性粒子,比通常的化學反應所產(chǎn)生的活性粒子種類更多、活性更強,更易于和所接觸的材料表面發(fā)生反應。
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